无尘车间工程是为了实现空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器进入到洁净室,在无尘室两侧安装隔间墙板或高架地板回风。气流因非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于无尘生产车间等级为1000-100000级的。
优点:无尘车间工程构造简单、系统建造成本也较低,因此在洁净室的扩充会比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,来提高洁净室等级。
缺点:
无尘车间工程的乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再启动,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。